产品概述
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PAS 系列 PAS-XYR 校准平台是一款薄型、三轴、XYθ 运动、紧凑型微型平台。
适用于闭环短行程定位应用，其中定位精度、重复精度、低速/推力涟波最重要。
PBA -PAS平台由PBA直接驱动电机提供动力，内置高刚性精密交叉滚子导轨，提高PAS模块的高加速能力，该模块具有非常低的电气/机械时间常数和零滞后。结合高分辨率线性编码器，PAS平台确保高精度定位的长久可靠性。适用于半导体和液晶相关制造设备等图像的对位处理，以及无尘室环境的测量设备和检测仪器的定位机构。
产品特点
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直驱技术
超薄且紧凑的结构
交叉滚子轴承赋予平台卓越的精度和刚性
无齿槽效应、零背隙、无迟滞
移动质量轻，快速响应
集成高精度线性编码器
高可靠性
可叠加使用
产品应用
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·校准对位
·检测
·移载
·点胶
·印刷
·激光打标
